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氣體顆粒度分析檢測

產品描述▩✘◕↟:

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管道顆粒度檢測

a.測試目的和標準

對高純氣體輸送系統微粒濃度的檢測

b.測試儀器

1cf塵埃粒子計數器(0.1um)

c.測試前準備

(1)在圖紙上標出微粒測試的管路, 並將取樣點和吹掃氣體匯入點在圖上標出✘☁。

(2)將經過過濾的純淨氣體接入測試管路中, 調節流量, 確保流量不超過過濾器的額定流量✘☁。

(3)確保待測系統中的閥門和調壓閥處在開啟位置✘☁。

e.測試方法

1)檢查系統內的氣體流速, 確保系統流量符合微粒測試的最小的速度要求✘☁。

(2)使用管徑至少是1/4” 的不鏽鋼EP管材和微粒儀相連✘☁。選取各系統的最不利的用氣點(即系統內管路最長▩☁•、走向最複雜的用氣點)進行測試·☁,或經甲方工程主管指定用氣點進行抽樣測試✘☁。

用塵埃粒子計數器連線氣體管道取樣✘☁。儀器佈置示意圖如下▩✘◕↟:

塵埃粒子計數器進行線上監測測量·☁,當觀察到讀數滿足要求並穩定一段時間之後·☁,即停止測試✘☁。塵埃粒子測量在連續十個週期(1min為一個週期)合格之後停止測量✘☁。

(3)持續抽樣直到系統達到驗收標準✘☁。

測試完成

1)把粒子計數器從系統中移走,然後降低系統的流量✘☁。

2)在測試的完成後應保持系統或元件在正壓下或在吹掃狀態中✘☁。

3)在微粒測試成功完成之後通知業主質量管理員✘☁。

測試失敗▩✘◕↟:經過測試,如果系統達不到驗收標準, 執行以下步驟來找出並解決問題✘☁。

1)檢查入口過濾器

2)把粒子計數器直接連線在已過濾過的氣源取樣管路中✘☁。如果微粒計數儀在20 分鐘內達到零.說明過濾器功能正常, 間歇性吹掃管路系統,重新測量直到系統到達驗收標準✘☁。

g.具體測試步驟

PN2(10)▩☁•、Par(5)▩☁•、PHe(1)裝置接頭共同串聯·☁,一次完成顆粒測試✘☁。

NH3(5)▩☁•、SiH4(5)▩☁•、1% PH3/H2(5)▩☁•、NF3(5)▩☁•、PH2(5)針對不同的氣體不同管道單獨顆粒測試;


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